拉奇纳米-低压化学气相沉积----学气相沉积

       真空镀膜有几种方式？

       1、真空蒸发镀膜

       在真空室中加热蒸发容器中的原材料，使其原子或分子从表面气化逸出，形成蒸气流，入射到待镀产品表面，凝结形成固态薄膜的方法。

       2、离子镀膜

       蒸发源的加热和蒸发镀膜相同。由于系统为等离子状态，使金属离子在产品表面吸附成膜，金属离子具有高能量，化学气相沉积厂，镀膜时离子结晶性佳、膜层的密着性---。

       3、磁控溅射镀膜

       给靶材施加高电压（形成等离子状态），使正荷电气体离子撞击靶材、金属原子飞弹，而在产品表面形成金属膜层的方法。

微电子机械系统（mems）parylene能在0.2um厚时就完全没有，5um时就---1000v以上直流击穿电压，又是摩擦系数很低的一种自润滑材料，低压化学气相沉积，化学惰性和阻隔性能也好，因此在微电子机械系统中，---学气相沉积，除了作电介质材料外，还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。parylene在传感器领域中的应用，除了作绝缘介质外，更多用作防护材料，它---酸、碱和，对水汽和盐雾等---环境有的阻隔防护能力，用极薄的涂层提供---的防护。