真空镀膜加工中频磁控溅射

无论平衡还是不平衡，如果磁铁是静止的，其磁性决定了现有材料的利用率通常小于3。为了提高靶材的利用率，可以采用旋转磁场。然而，旋转磁场需要一个旋转机构，并且应降低等待速率。

用磁控靶源溅射金属和合金容易，点火和溅射方便。这是因为目标、等离子体和飞溅零件的真空腔可以形成一个电路。但是，如果溅镀陶瓷等绝缘体，电路就会断开。

真空镀膜技术一般分为两大类，即物理气相堆积（pvd）技术和化学气相堆积（cvd）技术。

物理气相堆积技术具有膜/基结合力好、薄膜均匀细密、薄膜厚度可控性好、运用的靶材广泛、溅射规模宽、可堆积厚膜、可制取成分安稳的合金膜和重复性好等长处。一同，物理气相堆积技术由于其工艺处理温度可控制在500℃以下，因而可作为z终的处理工艺用于高速钢和硬质合金类的薄膜刀具上。

真空镀膜加工中的说明

三、与金属件结合强度高 一般强度在350-450mpa自然状态下不起皮、不脱落。即可保持金属基件原有的机械性能，又 增加了镀件的耐磨性、耐腐蚀性。

四、耐腐蚀性强 金属件经表面处理后，由于表面形成了一种非晶态镀膜层，因为无晶界，所以抗腐蚀性能 优良。例如：在5%hci中，含p分数为10.9%镍磷合金镀层的耐腐蚀层比icr18ni9ti不锈钢还高出10%hci中则高出20倍以上。

真空镀膜技能在塑料制品的运用上z为广泛。塑料具有易成型，成本低，轻，不腐蚀等特点，因而塑料制品运用广泛，但因其缺点制约了扩大运用，如不漂亮、易老化、机械性能差、耐热差、吸水率。经过真空镀膜技能的运用，使塑料外表金属化，将有机资料和无机资料结合起来，---进步了它的物理、化学性能。

真空镀膜技能长处主要表现在以下几个方面：

一、改进漂亮，外表光滑，金属光泽五颜六色化，装------进步；

二、改进外表硬度，原塑胶外表比金属软而易受损害，经过真空镀膜，硬度及耐磨性---添加；