五金配件真空镀膜设备-拉奇纳米-真空镀膜设备

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    2020-9-7

唐锦仪
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射频等离子体增强化学气相沉积(rf-pcvd)

在低压容器的两极上加高频电压则产生射频放电形成等离子体,射频电源通常采用电容耦合或电感耦合方式,其中又可分为电极式和无电极式结构,电极式一般采用平板式或热管式结构,优点是可容纳较多工件,但这种装置中的分解率远低于1%,即等离子体的内能不高。电极式装置设在反应容器外时,主要为感应线圈,如图5,也叫无极环形放电,射频频率为13.56mhz。






pcvd的工艺装置由沉积室、反应物输送系统、放电电源、真空系统及检测系统组成。气源需用气体净化器除往水分和其它杂质,手机真空镀膜设备,经调节装置得到所需要的流量,再与源物质同时被送进沉积室,在一定温度和等离子体等条件下,得到所需的产物,并沉积在工件或基片表面。所以,pcvd工艺既包括等离子体物理过程,又包括等离子体化学反应过程。





磁控溅射:在真空环境下,通过电压和磁场的共同作用,以被离化的惰性气体离子对靶材进行轰击,致使靶材以离子、原子或分子的形式被弹出并沉积在基件上形成薄膜。根据使用的电离电源的不同,玻璃真空镀膜设备,导体和非导体材料均可作为靶材被溅射。




离子束dlc:碳氢气体在离子源中被离化成等离子体,在电磁场的共同作用下,真空镀膜设备,离子源释放出碳离子。离子束能量通过调整加在等离子体上的电压来控制。碳氢离子束被引到基片上,沉积速度与离子电流密度成正比。星弧涂层的离子束源采用高电压,因而离子能量,使得薄膜与基片结合力---;离子电流,使得dlc膜的沉积速度更快。离子束技术的主要优点在于可沉积超薄及多层结构,工艺控制精度可达几个埃,并可将工艺过程中的颗料污染所带来的缺陷降至。


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