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气相沉积主要分为两大类：

化学气相沉积(，简称cvd)；

物理气相沉积(，简称pvd)。

，人们利用易挥发的液体tici稍加热获得tici气体和nh气体一起导入高温反应室，显示屏纳米镀膜设备，让这些反应气体分解，再在高温固体表面上进行遵循热力学原理的化学反应，生成tin和hci，hci被抽走，tin沉积在固体表面上成硬质固相薄膜。人们把这种通过含有构成薄膜元素的挥发性化合物与气态物质，在固体表面上进行化学反应，且生成非挥发性固态沉积物的过程，称为化学气相沉积(，cvd)。

cvd 制备铱高温涂层人们之所以对作涂层材料感兴趣是由于这类金属优良的性能 。铱具有较强的能力和较高的熔点而受到重视， 是一种较理想的高温涂层材料 。

20 世纪 60 年代以来， 航空航天技术飞速发展，一些高熔点材料(如石墨碳和钨钼钽铌等难熔金属)被大量使用，但这些材料的一个共同的致命缺点是能力差。

60 年代美国材料实验室(afml)对石墨碳的铱保护涂层进行过大量的研究， 采用了多种成型方法制备铱涂层 ，其中包括化学气相沉积法 。虽然没有制备出令人满意的厚铱涂层， 但仍认为 cvd 是一种非常有希望且值得进一步研究的方法。