




pvd技术出现于,制备的薄膜具有高硬度、低摩擦系数、---的耐磨性和化学稳定性等优点。在高速具领域的成功应用引起了---制造业的高度重视,五金配件真空镀膜设备,人们在开发、高---性涂层设备的同时,也在硬质合金、陶瓷类刀具中进行了深入的涂层应用研究。
与cvd工艺相比,pvd工艺处理温度低,新北真空镀膜设备,在600℃以下时对刀具材料的抗弯强度无影响;薄膜内部应力状态为压应力,更适于对硬质合金精密复杂刀具的涂层;pvd工艺对环境无不利影响,符合现代绿色制造的发展方向。
cvd 制备铱高温涂层人们之所以对作涂层材料感兴趣是由于这类金属优良的性能 。铱具有较强的能力和较高的熔点而受到重视, 是一种较理想的高温涂层材料 。
20 世纪 60 年代以来, 航空航天技术飞速发展,一些高熔点材料(如石墨碳和钨钼钽铌等难熔金属)被大量使用,但这些材料的一个共同的致命缺点是能力差。
60 年代美国材料实验室(afml)对石墨碳的铱保护涂层进行过大量的研究, 采用了多种成型方法制备铱涂层 ,其中包括化学气相沉积法 。虽然没有制备出令人满意的厚铱涂层, 但仍认为 cvd 是一种非常有希望且值得进一步研究的方法。
溅射是物理气相沉积技术的另一种方式,有人要问了溅射工艺是怎么实现的呢?
溅射的过程是由离子轰击靶材表面,真空镀膜设备,使靶材材料被轰击出来的技术。整个过程是在真空腔体中完成的。溅射开始时将气充入真空腔体中形成低压气氛围,汽车真空镀膜设备,再通过使用高电压,产生辉光放电,加速离子到靶材表面。离子将靶材材料从表面轰击(溅射)出来,在靶材前面的被涂层工件上沉积下来,这整个过程就好像是在打台球。
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