




帕利灵(parylene)是一族由对二合成的热塑性塑料聚合物的通称。它是在室温条件下气相沉积获得的薄膜物质,可以生成数百微米内任何厚度的薄膜。利用真空沉积技术可以将膜厚精度控制在1μm。此外,真空沉积的帕利灵具有均一性、保形性,无微孔无缺陷,化学性质不活泼等优良特性。由于真空沉积不使用催化剂和溶剂,产出的薄膜很纯净,释气量很小。有3种成熟的帕利灵材料:c型、d型和n型,帕利灵c透水性和透气性比其他两种小很多,应用广泛。帕利灵c在温度300k时太赫兹频段的折射率大约为1.62,4.5k时降低到约1.5141。吸收系数约为数10cm-1量级。帕利灵c的这些特性使之成为硅、锗材质的透镜和窗口的合适的抗反镀膜材料。
,在真空环境下,固体四---对环二体在150℃左右升华为气态;
第二,在650℃左右四---对环二体裂解成带自由基的活性2,铝板真空镀膜,5----对二亚------;
第三,真空镀膜技术,在室温(25℃)条件下,游离态的2,5----对二亚------在固态基材表面沉积聚合,形成一层无的保形性薄膜。
parylene薄膜具有厚度均匀、致密无、透明无应力、优异的电绝缘性和防护性等特点,可应用在光电材料、磁性材料、服装及保护等领域,因其生物兼容性和生物稳定性,真空镀膜,还可以应用在领域。然而,需要注意的是,parylene涂覆对于材料表面的要求比较高,要求附着力好,无杂质,因此在进行涂覆前,必须对物件的表面进行一定预处理,以增加涂覆物件的附着力。
parylenec 在芳烃上一个氢被氯原子取代,具有非常低的水分子和腐蚀性气体的透过率,沉积生长速率也比n型快得多,是目前应用广、防护效果好的粉材。parylened 在芳烃上二个氢被二个氯原子取代,具有阻燃性。在更高温度下具有相对---的物理及电性能,同时与n、和c型相比,具有---的热稳定性。
paryleneht是---环上的4个氢原子被氟取代,与c,n,d比较,其薄膜的介电强度高、介电常数低(即透波性能好),热稳定性好。薄膜本身连续、致密、无,短期耐温可达450摄氏度,长期耐温可达350摄氏度,并具有强的抗紫外线能力,更适合作为高频微波器件的防护材料。
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