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真空镀膜机扩散泵维修与保养

5、扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏，气相沉积设备厂商，应定期检查。如：泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理；零件及泵腔先用航空清洗，然后用进行擦洗，气相沉积设备价格，并置于80-100摄氏度温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后，按顺序进行装配，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好。

7、在重新开机前，要注意检漏工作。方法是：启动维护泵，关好真空室门，数分钟后，观察真空度是否6*10的0帕，否则要进行检漏，检查连接处是否漏装密封胶圈，或者压坏密封圈。排除漏气---后方可加热，否则扩散泵油会烧坏，无法进入工作状态。

真空镀膜机首要指一类需求在较高真空度下进行的镀膜，气相沉积设备，详细包含许多品种，包含真空离子蒸腾，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射堆积等许多种。首要思路是分成蒸腾和溅射两种。需求镀膜的被称为基片，镀的资料被称为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。

　薄膜均匀性概念

　厚度上的均匀性，也能够理解为粗糙度，在光学薄膜的标准上看(也便是1/10波长作为单位，约为100a)，真空镀膜的均匀性已经相当好，能够轻松将粗糙度操控在可见光波长的1/10范围内，也便是说关于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何妨碍。 但是如果是指原子层标准上的均匀度，也便是说要实现10a甚至1a的外表平整，详细操控因素下面会依据不同镀膜给出详细解释。

东莞拉奇纳米科技有限公司是一家从事纳米镀膜代工与纳米镀膜设备制造销售的公司，是将派瑞林（pa-rylene）高分子材料裂解为纳米分子再进行产品表面的真空镀膜处理。使被镀物具备以下特性：防水、防潮、耐酸碱、抗盐雾、高抗压、绝缘、生物兼容性等。

镀膜设备是一种用于材料科学领域的科学仪器，能够在微颗粒表面沉积各种金属薄膜（包括磁性金属膜）、金属氧化物薄膜、金属氮化物薄膜及合金薄膜，且所镀薄膜致密、均匀、纯度高、附着力强等。