




晶格有序度的均匀性:
这决定了薄膜是单晶,多晶,非晶,是真空镀膜技术中的---问题,具体见下。
主要分类有两个大种类:
蒸发沉积镀膜和溅射沉积镀膜,具体则包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,溶胶凝胶法等等
一、对于蒸发镀膜:
一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。
厚度均匀性主要取决于:
1、基片材料与靶材的晶格匹配程度
2、基片表面温度
3、蒸发功率,速率
4、真空度
5、镀膜时间,厚度大小。
组分均匀性:
蒸发镀膜组分均匀性不是很容易---,具体可以调控的因素同上,中山多功能化学气相沉积,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。
晶向均匀性:
1、晶格匹配度
2、基片温度
3、蒸发速率
纳米技术是一门交叉性很强的综合学科,研究的内容涉及现代科技的广阔领域。1993年,多功能化学气相沉积技术,国际纳米科技指导将纳米技术划分为纳米电子学、纳米物理学、纳米化学、纳米生物学、纳米加工学和纳米计量学等6个分支学科。其中,纳米物理学和纳米化学是纳米技术的理论基础,而纳米电子学是纳米技术的内容。
纳米镀膜主要有以下几方面应用:镀膜探针;镀膜金手指;镀膜socket;镀银led支架;atp 包装材料;传统产业及民用产品使用。此外还可应用于pcb板镀膜隔纸,银粉镀膜,pogo pin,probe pin,probe card镀膜。
电子镀膜是一种产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。其工艺流程一般如下:
1、表面处理:通常,电子镀膜之前,多功能化学气相沉积技术,应对基材(镀件)进行除油、除尘等预处理,以---镀件的整洁、干燥,避免底涂层出现麻点、附着力差等缺点。对于特殊材料,多功能化学气相沉积公司,如pe(聚乙烯)料等,还应对其进行改性,以达到镀膜的预期效果。
2、底涂:底涂施工时,可以采用喷涂,也可采用浸涂,具体应视镀件大小、形状、结构及用户设备等具体情况及客户的要求而定
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