




空镀膜是真空应用领域,而光学镀膜是指在光学零件表面镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺。
真空镀膜是以真空技术为基础,采用物理或化学方法,吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频、磁控等一系列新技术。光学镀膜是一种物理或化学方法,在材料表面涂上一层透明的电解质膜,或一层金属膜,目的是改变材料表面的反射和透射特性。
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真空镀膜机具有真空度高、抽速快、基片装卸方便的特点,配备 e 型电子束蒸发源和电阻蒸发源。pid自动控温,具有成膜均匀、放气量小和温度均匀的优点。e 型电子束蒸发、电阻热蒸发源组件(可选配)、样品掩膜挡板系统、真空获得系统及真空测量系统、分子泵真空机组或低温泵真空机组、旋转基片加热台、工作气路、样品传递机构,膜厚控制系统、电控系统、恒温冷却水系统等组成。可选件:膜厚监控仪,恒温制冷水箱。

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