




真空镀膜机厚度均匀性,具体包括很多种类
1。基片材料与靶材的晶格匹配程度
2、基片表面温度
3. 蒸发功率,速率
4. 真空度
5. 镀膜时间,厚度大小。
真空纳米镀膜机设备的主要用途
(1)各种功能性薄膜:如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜。例如,低温沉积氮化硅减反射膜,以提高太阳能电池的光电转换效率。
(2)装饰领域的应用,如各种全反射膜及半透明膜等,如手机外壳,镜片镀膜设备,鼠标等。
东莞拉奇纳米科技有限公司是一家从事纳米镀膜代工与纳米镀膜设备制造销售的公司,是将派瑞林(pa-rylene)高分子材料裂解为纳米分子再进行产品表面的真空镀膜处理。使被镀物具备以下特性:防水、防潮、耐酸碱、抗盐雾、高抗压、绝缘、生物兼容性等。
真空镀膜机低真空抽气的基本要求是高工作压力和大风量,但对抽速的要求不如高真空机组。因此,镀膜机的低真空抽气机通常用作粗真空室。低真空泵通常采用罗茨泵、分子筛吸附泵、油蒸汽喷射泵、蒸汽喷射泵、水环泵、往复泵、油封泵等,这些常见的低真空泵除了罗茨泵和蒸汽喷射泵不能直接排放到---中,其他泵可以直接排放到---中。
真空镀膜设备的真空系统构成:
目前在各种真空镀膜设备上所配用的真空系统不但结构各不相同,而且系统的抽气特性也随其工作对象的不同而有很大的差别,归纳起来主要有如下几种系统:通用真空系统、真空系统、制冷机低温泵系统。
一、通用真空系统
系统的主泵是油扩散泵,镜片镀膜设备厂在哪,泵上方设有水冷挡板(阱),主泵的前级泵为机械泵。这种系统的工作压强在10-2~10-4pa的范围内。
二、真空系统
在上述真空系统中加装液氮冷阱或钛泵,镜片镀膜设备工厂在哪,就可以使镀膜室真空度提高到10-6pa以上,从而得到真空系统。由于该系统仍采用油扩散泵,所以还是有油的系统。
镀膜机采用分子泵系统可以获得十分清洁的真空,有利于膜的提高。分子泵抽速很大,可以缩短工艺周期。
三、制冷机低温泵系统
使用低温泵抽气系统的真空镀膜设备具有一系列优点:无选择性气体、无碳氢化合物污染、具有较大的抽气速率、可以获得较低的---压力、操作简单、蓬盘维护方便。
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