




高真空电子束蒸发镀膜机是在高真空条件下,采用电子束轰击材料加热蒸发的方法,在衬底上镀制各种金属、氧化物、导电薄膜、光学薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、超硬膜等;可镀制混合物单层膜、多层膜或掺杂膜;可镀各种高熔点材料。
可根据用户使用要求,选配石英晶体膜厚自动控制及光学膜厚自动控制两种方式, 通过plc 和工控机联合实现对整个镀膜过程的全程自动控制, 包括真空系统、烘烤系统、蒸发过程和膜层厚度的监控功能等,从而提高了工作效率和---产品的一致性和稳定性。
真空镀膜机扩散泵维修与保养
扩散泵是真空镀膜机很重要的部件,大家都知道,真空镀膜机是在真空状态下工作的,那么真空腔体要达到真空,扩散泵的。然而要---真空镀膜机长期稳定工作,扩散泵保养和维护是的环节。
1、扩散泵工作过程中冷却水必须---畅通,塑料真空镀膜设备销售,停止加热后必须---泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。
2、扩散泵停止工作时,塑料真空镀膜设备多少钱,泵内应保持真空状态,以免泵油劣化。
真空镀膜机首要指一类需求在较高真空度下进行的镀膜,详细包含许多品种,包含真空离子蒸腾,塑料真空镀膜设备,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射堆积等许多种。首要思路是分成蒸腾和溅射两种。
薄膜均匀性概念 厚度上的均匀性,也能够理解为粗糙度,在光学薄膜的标准上看(也便是1/10波长作为单位,约为100a),真空镀膜的均匀性已经相当好,能够轻松将粗糙度操控在可见光波长的1/10范围内,也便是说关于薄膜的光学特性来说,真空镀膜没有任何妨碍。 但是如果是指原子层标准上的均匀度,也便是说要实现10a甚至1a的外表平整,详细操控因素下面会依据不同镀膜给出详细解释。
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