拉奇纳米镀膜-气相沉积设备工厂-气相沉积设备

真空镀膜机的原理

真空主体——真空室根据加工产品的要求差异，大小也不一。目前应用的真空室有直径1.3m、0.9m、1.5m、1.8m等。燃烧室由不锈钢制成，不需要生锈、坚固等。真空室的所有部分都设有连接阀，气相沉积设备，用于连接各种泵。

辅助抽气系统：排气系统是真空镀膜机的重要组成部分，主要由机械泵、增压泵(主要引入罗茨泵)和油扩散泵组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。机械泵首先将真空室抽入小于2.0 * 10-2 pa 的低真空状态，uh850气相沉积设备，为扩散泵的后续真空抽吸提供了前提，然后在扩散泵的真空室抽吸时，机械泵与油扩散泵串联，h850气相沉积设备，完成抽吸作用。

parylene 材料

parylene n，聚对二---。将二中的一个氢原子用一个氯原子所取代，就得到parylene c；将其中两个芳香烃氢原子被氯原子取代，就得到parylene d；---环上的4个氢原子被氟取代，即可得parylene f；而将二上的h原子替换为f原子，就得到ht型parylene。

性能和用途

parylene n是一种---的介电材料，具有非常低的介质损耗、高绝缘强度以及不随频率变化的介电常数。它是所有parylene中穿透能力高的一种，有---的自润滑性，摩擦系数为0.25。符合iso-10993生物试验要求，符合udp第六类塑料的生物试验要求。