l5000气相沉积设备-拉奇纳米镀膜(商家)

真空镀膜机组成结构是怎样的？一---整的真空镀膜机是由多部分系统组成的，每个系统可以完成不同的功能。

真空镀膜机的主体是真空腔，真空腔大小是由加工产品所决定，它的大小能定制，l5000气相沉积设备，腔体一般是用不锈钢材料制作，要求结实---不生锈等。真空腔有许多连接阀用来连接各种辅助泵。

抽真空系统是镀膜机真空系统的一个重要组成部分，真空度的高低直接影响产品的镀膜效果，真空度由真空测试系统取得数据。

成膜控制系统能采用不同方式，比如固定镀制时间、目测、监控以及水晶震荡监控等。镀膜方式也分多种工艺，常用的有离子蒸发镀膜和磁控溅射镀膜。

真空镀膜机是由真空炉体，气相沉积设备，真空泵，控制柜，真空计，冷却系统等部件组成，真空驴体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。

根据工艺要求选择不同规格及类型真空镀膜机，其类型有电阻蒸发真空镀膜设备、电子束蒸发真空镀膜设备、磁控溅射真空镀膜设备、离子镀真空镀膜设备、磁控反应溅射真空镀膜设备、空心阴极离子镀和多弧离子镀等。