parylene涂层-福田parylene涂层-拉奇纳米

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，parylene涂层，包括真空离子蒸发，塑料parylene涂层，磁控溅射，金属配件parylene涂层，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。 

周围环境的好坏直接影响真空设备的正常使用；而真空设备的真空室或装入里面的零件是否清洗，又直接影响设备的性能。如果空气中含有大量的水蒸气和灰尘，在真空室没有经过清洗的情况下用油封机械泵去抽气，要达到预期的真空度很难的。

器材作用：防锈、防腐、防霉、防---、润滑

parylene是一种具有化学惰性又有---的生物相容性高纯涂层材料，已经通过美国fda---，用于各类体内植入，经它涂敷的器件可---表面润滑型、生物相容性、提高---性。parylene的生物兼容性及其生物稳定性使其能够提供---的防潮、防化学和介电保护。涂敷薄膜的摩擦系数低，因而可以应用于需要润滑的地方。