真空pvd镀膜基本步骤
前处理工艺褪膜、喷砂、抛光、钝化、清洗、装夹 镀膜工艺抽真空、加热烘烤、漏率测试、轰击清洗、镀膜、冷却出炉 后处理工艺
清洗：---镀膜前产品表面的清洁，越新鲜的表面，越能---镀膜；
抽真空：将真空室内的残余气体抽走加热烘烤：炉体和工件同时加热，加速残余气体的释放压升率测试：测试炉体的漏气率和放气率轰击清洗：去除工件表面的杂志，露出新鲜表面镀膜：沉积膜层冷却：避免工件氧化变色
parylene是这些组装方式的防护材料，5微米厚就---1000v以上直流击穿电压，硅胶parylene涂层，因此在微机电系统中，台山parylene涂层，parylene是一的电介质材料。同时，对传感器的防酸、碱和及对水汽和盐雾等---环境有的阻隔防护能力。
parylene活性分子的---穿透能力在元件内部，底部、周围形成无气隙的防护层。优良的防潮、防化学品和耐溶剂---良的介电绝缘性能、微米级的精密制作、极薄的膜层仍具极优的电性能、物理机械性能和防腐蚀功能。
塑料中含有水分、残留溶剂、单体、低聚合物、增塑剂等，挥发性小分子会在真空或升温环境下逸出表面，电子parylene涂层，---影响真空镀层对基材的附着力，而采用底涂技术就可阻碍这些小分子的逸出，提高真空镀层对基材的附着力。
塑料基材与真空镀层通常为金属)两者热膨胀系数相差很大，在真空镀膜升温、降温过程中膜层容易，膜层越厚，的可能性越大，因此选用合适的涂层作为过渡层，可以减少内应力的积累和的发生
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