




四种常见的真空镀膜材料
1.氧化物:一氧化硅sio,二氧化硅sio2,电子派瑞伦镀膜,二氧化钛tio2,二氧化锆zro2,二氧化铪hfo2,一氧化钛tio,五氧化三钛ti3o5,五氧化二铌nb2o5,五氧化二钽ta2o5,氧化钇y2o3,氧化锌zno等高纯氧化物镀膜材料。
2.---物:---钕nbf3,baf2,---cef3,派瑞伦镀膜,---镁mgf2,laf3,---钇yf3,---镱ybf3,---铒erf3等高纯---物。
3.其它化合物:---锌zns,---znse,橡胶派瑞伦镀膜,氮化钛tin,碳化硅sic,钛酸---latio3,钛酸钡batio3,钛酸---srtio3,钛酸镨prtio3,cds等真空镀膜材料。
4.金属镀膜材料:高纯铝al,高纯铜cu,高纯钛ti,高纯硅si,高纯金au,高纯银ag,高纯铟in,五金配件派瑞伦镀膜,高纯镁mg,高纯锌zn,高纯铂pt,高纯锗ge,高纯镍ni,高纯金au,金锗合金auge,金镍合金auni,镍铬合金nicr,钛铝合金tial,铜铟合金cuinga,铜铟硒合金cuingase,锌铝合金znal,铝硅合金alsi等金属镀膜材料。
真空pvd镀膜基本步骤
前处理工艺褪膜、喷砂、抛光、钝化、清洗、装夹 镀膜工艺抽真空、加热烘烤、漏率测试、轰击清洗、镀膜、冷却出炉 后处理工艺
清洗:---镀膜前产品表面的清洁,越新鲜的表面,越能---镀膜;
抽真空:将真空室内的残余气体抽走加热烘烤:炉体和工件同时加热,加速残余气体的释放压升率测试:测试炉体的漏气率和放气率轰击清洗:去除工件表面的杂志,露出新鲜表面镀膜:沉积膜层冷却:避免工件氧化变色
手机纳米膜真空设备系统的简单介绍
(1)主泵:在真空系统中,用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵,如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
(2)前级泵:用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。
(3)粗抽泵:从---压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,就是粗油泵。
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