lh300派瑞林镀膜设备-拉奇纳米镀膜

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    2023-11-16

唐锦仪
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真空镀膜机扩散泵维修与保养

2、扩散泵停止工作时,泵内应保持真空状态,以免泵油劣化。

3、被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。

4、扩散泵如暂时不用,保管期间应该保持真空状态,以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。

5、待水分挥发干以后装好泵芯,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,lh300派瑞林镀膜设备哪里好,装好电炉盘,便可以重新开机。





高真空电子束蒸发镀膜机是在高真空条件下,采用电子束轰击材料加热蒸发的方法,在衬底上镀制各种金属、氧化物、导电薄膜、光学薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、超硬膜等;可镀制混合物单层膜、多层膜或掺杂膜;可镀各种高熔点材料。

可根据用户使用要求,选配石英晶体膜厚自动控制及光学膜厚自动控制两种方式,lh300派瑞林镀膜设备, 通过plc 和工控机联合实现对整个镀膜过程的全程自动控制, 包括真空系统、烘烤系统、蒸发过程和膜层厚度的监控功能等,lh300派瑞林镀膜设备哪有卖,从而提高了工作效率和---产品的一致性和稳定性。





镀膜机常见故障及处理方法:

一、检测不到掩膜夹具翻转信号:

1、检查翻面信号源位置

2、将翻面输入信号人工短接,使用翻面检测功能,计算机能检测到信号时,证明问题在翻面控制开关上,根据情况做相应处理。检测不到信号首先检查线路,然后更换控制卡。

二、掩膜夹具翻转不稳定:

1、检查翻板的初始位置是否符合---

2、检测翻面控制开关工作是否稳定,可用指针万用表---监测。

3、检查翻转机构动作是否灵活---

4、检查翻面信号次数设置

5、检查旋转工作台是否与钟罩内壁有摩擦现象

6、检测旋转工作台在转动时的稳定性





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