h750气相沉积设备-东莞拉奇纳米-南头气相沉积设备

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    2023-11-28

唐锦仪
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真空镀膜机器设备的主泵形式分成二种,各自为有油真空泵和无油超滤装置,l5000气相沉积设备,这二种系统软件的工作中形式全是不一样的;有机油超滤装置基本上是以油扩散泵为主泵,前面泵选用真空泵或是罗茨真空泵。我们知道,油扩散泵的工作压力方向较为大,与此同时抽真空速度十分的高,可以做到每秒钟十几万升。

无油超滤装置是应用分子泵和低温泵做为主泵的,h750气相沉积设备,其特性关键集中化在可以持续很多抽真空,能够得到清理无油的---真空泵。



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真空镀膜机扩散泵维修与保养

2、扩散泵停止工作时,泵内应保持真空状态,以免泵油劣化。

3、被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。

4、扩散泵如暂时不用,保管期间应该保持真空状态,以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。

5、待水分挥发干以后装好泵芯,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。





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