




真空镀膜机日常维护保养
1、每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。
方法:用(naoh)饱和溶液反复擦洗真空室内壁,( 注意人体皮肤不可以直接接触溶液,派瑞林真空镀膜设备工厂哪里近,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(al)与naoh发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气,再用清水清洗真空室和用布沾清洗精抽阀内的污垢。
2、当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),派瑞林真空镀膜设备,需更换新油。
方法:拧开放油螺栓,派瑞林真空镀膜设备哪有订,放掉旧油,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。
镀膜设备的镀膜方式:离子镀,派瑞林真空镀膜设备哪里实惠,蒸发镀,溅射镀
(1)镀膜设备的特点: 成膜速度快0.1- 50um/min,设备比较简单,操作容易;制得薄膜纯度高;薄膜生长机理较简单。
镀膜设备镀出的产品掉膜是怎么回事?
一、产品表面洁净度不够,离子源清洗气放大时间长点。
二、清洗是否有加了清洗剂,或者更换了清洗剂,建议用纯水先试一下。
三、工艺参数是否有变动在膜厚和电流上可以做点调整。
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,包括真空离子蒸发镀膜机、磁控溅镀膜机射、mbe分子束外延镀膜机和pld激光溅射沉积镀膜机等很多种。主要是分成蒸发和溅射两种。在真空镀膜设备中需要镀膜的被成为基片,镀的材料被成为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程形成薄膜。

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