




化学气相沉积技术是把含有构成薄膜元素的单质气体或化合物供给基体,借助气相作用或基体表面上的化学反应,在基体上制出金属或化合物薄膜的方法,主要包括常压化学气相沉积、低压化学气相沉积和兼有cvd和pvd两者特点的等离子化学气相沉积等。
真空镀膜技术与湿式镀膜技术相比较,具有下列优点:(1)薄膜和基体选材广泛,薄膜厚度可进行控制,以制备具有各种不同功能的功能性薄膜。(2)在真空条件下制备薄膜,环境清洁,薄膜不易受到污染,因此可获得致密性好、纯度高和涂层均匀的薄膜。(3)薄膜与基体结合强度好,薄膜牢固。(4)干式镀膜既不产生废液,parylene,也无环境污染。
利用新纳米技术开发的功能金属氧化物薄膜材料(functional thin-film metal-oxides materials,具有优良的电磁传导、物理化学和机械性能,可广泛应用于节能照明、显示电子、化合物检测、柔性透明和气体传感等领域,具有开启后硅基半导体电子---的---潜力。欧盟第七研发框架计划(fp7)提供980万欧元资助,金属配件parylene,总研发投入1340万欧元,深圳parylene,由欧盟8个---德国(总协调)、英国、意大利、比利时、荷兰、葡萄牙、希腊和斯洛文尼亚,微纳米电子工业界联合科技界组成的欧盟微纳米电子技术平台(orama etp)。在建立紧密合作型研发公私伙伴关系(ppp)的同时,将长期致力于功能金属氧化物薄膜材料的研制开发及商业化推广应用。
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
工业环境中的粉尘是以粉状体、眼无题、粉尘来区分的。粉状体是粉末或固体颗粒的集合或分散状态的物质。所谓粉末是指微小的固体颗粒的集合,而颗粒是指能够一个一个计数的微小物质。烟雾体是以固体或液体的微小颗粒呈浮状态存在于气体中的物质体系。物质无论是固体还是液体,显示屏parylene,凡是呈颗粒状态均可统称为尘粒。以尘粒直径的大小来确定空气清洁度的标准,从而定制出洁净室的等级。不仅适合于有洁净要求的工业部门,也适合于真空对洁净环境的要求。
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