




parylene涂层不仅有优异的介电性能、低的介质损耗和高的介电强度,同时具有优良的机械性能和耐辐射性能。parylene如此高的介电强度主要归功于parylene能形成连续无缺陷和无其它填充物的薄膜。parylene具有优异的尺寸稳定性和低温性能,在几乎不改变器件尺寸的情况下提供1.5kv,2.0kv 甚至更高的耐电压击穿性能。因此,parylene可用作微机电,微马达的表面处理和绝缘体。使用高纯度的parylene作钝化层和介质层,能提供安全、稳定的防护。
镀膜前的准备工作
清洁真空镀膜室。用吸尘器将真空镀膜室清洁一遍。当经过多次镀膜时,真空镀膜室的内衬板还需作定期清洗,一般是半个月清洗一次。
检查电弧蒸发源。工作前,要---电弧蒸发源发源安装正确,绝缘---,引弧针控制灵活,程合适,恰好能触及阴极表面。
检查工件架的绝缘情况。工件架与地之间的绝缘必须须---,马达真空镀膜厂在哪,负偏压电源与工件架的接触点点必须接触---。
以上几项工作---没有问题后,才可以关闭真空镀膜室的门,进行抽气和镀膜。
一、镀膜作业步骤:1.镀膜前洗净。2.抽检镜片外观确认(裂边,伤痕,不洁)情况,全检镜片锁板情况(镜片倾斜)。3.确认好准备镀膜的镜片(数量,机种,面别)并做好相应记录。4.上伞,将镜片从包装盒内装到镀膜机台伞架上(主意带手套拿取镀膜板四周,勿碰到镜片。5.区分需要镀膜镜片种类面别。6.清洁坩埚电子周围用铜刷刷,吸,并添加药材。7.确认晶振片,监控片是否ok在新的位置。8.确认机台内无杂物,后关门排气加热。9.镀膜选取相应的制程。10.人员镀膜过程中进行监控。11.下伞,马达真空镀膜厂家哪里近,将镀膜后的镜片从伞架取下,马达真空镀膜,放入包装盒。12.抽检,主要为膜点,雾状,颜色异常,不洁。13.光谱测量采用奥林巴斯反射测定仪和u4---光光度计。14.伞架每圈抽1pcs共5圈。15.膜强度测试(采用3m胶带粘拉膜3次)。16.光谱量测ok后可送出。
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