




真空镀膜加工的滤片透射率
由于全介质多层反射膜只在有限的区域是有效的,矽钢片绝缘处理工厂在哪,因此滤光片透射率峰值的两边会出现旁通带.在大多数应用中需要将它们弄掉.短波旁通带只要在滤光片上叠加一块长波通吸收玻璃滤光片便很容易去掉,矽钢片绝缘处理,但是很不容易得到短波通吸收滤光片、有些可供利用的吸收滤光片虽然能有效地长波旁通带,但因其短波方面的透射率太低,---降低了整个滤光片的峰值透射率.解决这个问题的满意的办法是干.脆不用吸收滤光片,而是把后面将要讨论的---透射滤光片作为截止滤光片使用、由于---透射滤光片没有长波旁通
真空镀膜加工的基本技能要求
5、离子镀堆积源的规划应尽可能提高镀膜过程中的离化率,提高镀膜资料的利用率,合理匹配堆积源的功率,合理布置堆积源在真空室体的位置。
6、合理布置加热设备,一般加热器结构布局应使被镀工件温升均匀一致。
7、工件架应与真空室体绝缘,工件架的规划应使工件膜层均匀。
8、离子镀膜设备一般应具有工件负偏压和离子轰击电源,矽钢片绝缘处理加工,离子轰击电源应具有抑制非正常放电设备,维持作业稳定。
真空镀膜加工的科学蒸镀
在真空蒸镀时,气态粒子是由放于蒸发源中的蒸发材料产生的,而蒸发源的加热可以采用电阻法、高频感应法、电子束轰击、激光蒸发或放电法等。图1-1是真空蒸镀设备和一些蒸发源的简图。该真空蒸镀设备的工作室为金属钟罩,并备有手动的或液压的提升机构。底盘下面是由机械泵和扩散泵组成的抽气系统,通过真空阀门对工作室抽真空。
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