




pvd(物理气相沉积)技术主要分为三类,真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜。相对于pvd技术的三个分类,相应的真空镀膜设备也就有真空蒸发镀膜机、真空溅射镀膜机和真空离子镀膜机。近十多年真空离子镀技术的发展是快的,它已经成为了当代进的表面处理方法之一。我们通常所说的pvd镀膜,指的就是真空离子镀膜;通常所说的pvd镀膜机,指的也就是真空离子镀膜机。
真空镀膜加工是利用化学气相沉积技术是把含有构成薄膜元素的单质气体或化合物供给基体,借助气相作用或基体表面上的化学反应,在基体上制出金属或化合物薄膜的方法,真空微米镀膜工艺,主要包括常压化学气相沉积、低压化学气相沉积和兼有cvd和pvd两者特点的等离子化学气相沉积等。
真空镀膜加工的基本技能要求
9、真空室接不同电位的各部分间的绝缘电阻值的巨细,均按gb/t11164-1999中的4.4.6
10、其他注意事项
1)环境温度:10-30oc
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