众所周知，真空微米镀膜加工，在某些材料的表面上，只要镀上一层薄膜，就能使材料具有许多新的、---的物理和化学性能。20世纪70年代，在物体表面上镀膜的方法主要有电镀法和化学镀法。前者是通过通电，使电解液电解，被电解的离子镀到作为另一个电极的基体表面上，因此这种镀膜的条件，真空微米镀膜技术---，基体必须是电的良导体，而且薄膜厚度也难以控制。后者是采用化学还原法，必须把膜材配制成溶液，并能迅速参加还原反应，这种镀膜方法不仅薄膜的结合强度差，而且镀膜既不均匀也不易控制，同时还会产生大量的废液，造成---的污染。因此，这两种被人们称之为湿式镀膜法的镀膜工艺受到了很大的---。
parylene是这些组装方式的防护材料，5微米厚就---1000v以上直流击穿电压，因此在微机电系统中，parylene是一的电介质材料。同时，对传感器的防酸、碱和及对水汽和盐雾等---环境有的阻隔防护能力。
parylene活性分子的---穿透能力在元件内部，底部、周围形成无气隙的防护层。优良的防潮、防化学品和耐溶剂---良的介电绝缘性能、微米级的精密制作、极薄的膜层仍具极优的电性能、物理机械性能和防腐蚀功能。
四种常见的真空镀膜材料
1.氧化物:一氧化硅sio，二氧化硅sio2，二氧化钛tio2，二氧化锆zro2，二氧化铪hfo2，一氧化钛tio，五氧化三钛ti3o5，五氧化二铌nb2o5，五氧化二钽ta2o5，真空微米镀膜厂家，氧化钇y2o3，氧化锌zno等高纯氧化物镀膜材料。
2.---物：---钕nbf3，baf2，---cef3，---镁mgf2，laf3，---钇yf3，---镱ybf3，---铒erf3等高纯---物。
3.其它化合物：---锌zns，---znse，氮化钛tin，三水真空微米镀膜，碳化硅sic，钛酸---latio3，钛酸钡batio3，钛酸---srtio3，钛酸镨prtio3，cds等真空镀膜材料。
4.金属镀膜材料：高纯铝al，高纯铜cu，高纯钛ti，高纯硅si，高纯金au，高纯银ag，高纯铟in，高纯镁mg，高纯锌zn，高纯铂pt，高纯锗ge，高纯镍ni，高纯金au，金锗合金auge，金镍合金auni，镍铬合金nicr，钛铝合金tial，铜铟合金cuinga，铜铟硒合金cuingase，锌铝合金znal，铝硅合金alsi等金属镀膜材料。
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