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真空镀膜加工的科学蒸镀

真空蒸镀设备的工作室为金属钟罩，并备有手动的或液压的提升机构。底盘下面是由机械泵和扩散泵组成的抽气系统，通过真空阀门对工作室抽真空。气体通过针阀进人真空室，底盘上有真空测---的规管。利用.上述的抽气系统可以使工作室的真空度达10-9~10-*pa以上，采用加热器烘烤基片以便去除基片上吸附的气体。镀膜材料是通过电阻加热的蒸发源来蒸发的，它们可以呈丝状或加工成舟状。镀膜材料呈“游标”状态悬挂着或缠绕在蒸发源丝的上

真空镀膜加工的---势

去除或减少污染物将有利于获得---真空，增加连接强度和气密性，提高产品的寿命和---性。真空镀膜设备成膜性能好，真空电镀设备涂层的致密度、覆盖能力、抗溶剂能力与耐光照能力等性能---。

镀膜技术作为材料制备的新技术，已从实验室的探索性研究转而应用于---的工业生产，并且正在向各个行业中渗透，其应用范围和作用还正在不断地扩大和深化。这种新技术不仅涉及到物理学、化学、结晶学、表面科学和固体物理等基础学科，还和真空、冶金和化工等技术领域密切相关。