拉奇纳米镀膜-真空镀膜设备公司-镀膜设备

工艺特点

（1）广泛应用于金属涂层、陶瓷涂层、无机涂层材料等。

（2）在产量方面，从单件到大批量皆可。

（3）有优势，沉积温度低，薄膜成份易控，膜厚与淀积时间成正比，均匀性，重复性好，台阶覆盖性优良。

（4）工具涂层的生产效率不如pvd，具体取决于特定技术要求和辅助工艺。

4、适用材料

化学气相沉积曾是真空技术广泛用于陶瓷沉积的一种技术，镀膜设备，---是对工具涂层更是这样。

2080年代早期随着等离子体辅助pvd工艺的显露，cvd在工具方面的应用衰落了。但由于这种工艺具有---的渗入特性，其在cvi、ale等领域的工艺中有着---的应用前景，主要用于金属涂层、陶瓷涂层、无机涂层材料。

镀膜设备pcvd技术具有沉积温度低，沉积速率快，绕镀性好，薄膜与基体结合强度好，设备---维护简单等优点，用pcvd法调节工艺参数方便灵活，光学镀膜设备价格，轻易调整和控制薄膜厚度和成份组成结构，沉积出多层复合膜及多层梯度复合膜等膜，同时，pcvd法还拓展了新的低温沉积领域，例如，用pcvd法可将tin的反应温度由cvd法的1000℃降到200～500℃，用pcvd法制备纳米陶瓷薄膜的特点是：产品的杨氏模量、抗压强度和硬度都---，耐磨性好，化学性能稳定，性和腐蚀性好，有较高的高温强度。