真空镀膜设备价格-镀膜设备-东莞拉奇纳米

影响磁控溅射真空镀膜机薄膜均匀性的因素有哪些?

气体不均匀性的影响

一般来说气体不均匀可以由两种情况产生，一种是送气不均匀，另一种就是抽气不均匀。正常抽气情况指的是真空室内的孪生靶两端对称抽气，可认为是均匀抽气；而前分子泵关和后分子泵关则是一端抽气，属于不均匀抽气。由于都是均匀送气不均匀抽气，真空室内的气体就不均匀了。很显然前分子泵关只开后分子泵时，气压从前到后逐渐减小，而后分子泵关只开前分子泵时，气压从后到前逐渐减小。实验得到的膜厚考虑磁场的影响后也正与气压变化相符。

真空镀膜机扩散泵维修与保养  

扩散泵是真空镀膜机很重要的部件，玻璃镀膜设备，大家都知道，真空镀膜机是在真空状态下工作的，那么真空腔体要达到真空，扩散泵的。然而要---真空镀膜机长期稳定工作，扩散泵保养和维护是的环节。

1、扩散泵工作过程中冷却水必须---畅通，停止加热后必须---泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。

2、扩散泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。