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镀膜设备的镀膜方式：离子镀，蒸发镀，溅射镀

(1)镀膜设备的特点： 成膜速度快0.1- 50um/min，设备比较简单，操作容易;制得薄膜纯度高;薄膜生长机理较简单。

镀膜设备镀出的产品掉膜是怎么回事?

一、产品表面洁净度不够，离子源清洗气放大时间长点。

二、清洗是否有加了清洗剂，或者更换了清洗剂，建议用纯水先试一下。

三、工艺参数是否有变动在膜厚和电流上可以做点调整。